Semiconduttori
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I Sistemi ETG vengono utilizzati nell'industria dei semiconduttori per il monitoraggio della contaminazione molecolare nelle camere bianche, ed anche per il monitoraggio degli exaust scrubber e nel controllo della contaminazione dei gas puri.
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ETG Risorse e Tecnologia ha sviluppato un sistema automatico per il monitoraggio in continuo dei VOC sino a 16 punti diversi di campionamento e con una risoluzione di 0,1 ppb.
La tecnologia pił recente ed innovative basata sulla CRDS per rilevare Ammoniaca (NH3), H2S, H2O, CH4, HF, HCl.
Una nuova tecnologia nel monitoraggio della contaminazione molecolare.