ORION 3100 Trace Ammonia Gas Monitor for Semi Application

La litografia DUV ha dimostrato di essere particolarmente sensibile a molti tipi di contaminazioni molecolari. Ammoniaca e gas acidi sono noti per creare problemi in tutte le fasi di fabbricazione.

Lo sviluppo di una migliore DUV più resistente e di lunga vita, non ha attenuato la necessità di un monitoraggio continuo e in tempo reale dei contaminanti molecolari.

L'utilizzo di ORION 3100 basato sull’Analizzatore CRDS permette di migliorare il ciclo di produzione.

ETG HMI (Human Machine Interface) software consente la visualizzazione in tempo reale, la manipolazione e l'automazione dei valori di ammoniaca campionati in diversi punti.

Questo programma è stato scritto per l’applicazione nei semiconduttori, per tentare di monitorare e controllare la contaminazione aerea nel processo di litografia DUV. Questo software ha la flessibilità necessaria per essere applicato a qualsiasi processo industriale dove è necessario un sistema di campionamento multipunto con uno o più analizzatori CRDS. Le caratteristiche includono un facile controllo interattivo degli allarmi, andamenti storici e le funzioni di base di un analizzatore in ambiente Windows.

 

Il primo passo per Prevenire "Foreign Particles" & "HAZE"

Con la produzione di particolari sempre più minuti, sta diventando sempre più necessario uno stretto controllo del flusso produttivo. Ciò è particolarmente vero per il processo attuale di litografia, dove è obbligatorio il controllo rigoroso dell’ atmosfera di processo.

ETG soddisfa questa importante necessità con l’ORION 3100 Trace Ammoniaca Gas Monitor. L'ORION 3100 sfrutta le caratteristiche della nuova tecnologia CRDS ed è progettato per la versatilità del processo.

ORION 3100 per il rilevamento di tracce di ammoniaca, combinato con uVOC - CAM rappresenta uno degli strumenti più potenti per il mercato dei semiconduttori, nella contaminazione aviotrasportata molecolare.

 

Misure in tempo reale

I dati rappresentano una misura dei gas atmosferici presenti in una clean room utilizzando l’ ORION 3100. Si può desumere dai risultati che la presenza di persone vicino all'unità fa sì che la concentrazione di ammoniaca fluttui.

 

 

0.1 ppb Sensitivity
Nonostante il design compatto, l’ ORION 3100 garantisce un efficace percorso ottico, che si estende fino a parecchi chilometri. Ciò permette allo strumento di avere limite di rilevazione estremamente basso nell’ordine di 0,1 ppb.

La misurazione in tempo reale
Le letture di concentrazione sono emesse ogni cinque secondi, ciò consente una misurazione in tempo reale dei valori di ammoniaca.

Facile Utilizzo
Il processo di misura può essere avviato semplicemente collegando la linea di campionamento e di avviando il computer. Questo semplifica notevolmente l'utilizzo dell’apparecchiatura.

Bassi costi di gestione
Non è richiesta la manutenzione o la sostituzione dei materiali di consumo, come gas carrier e colonne, diminuendo notevolmente i costi operativi.

 

Caratteristiche principali dell’ORION 3100

• Misure in tempo reale

• Principio di misura CRDS

• Continuous, unattended operation in harsh or hazardous environments

• Nessun reagente o sorgente radioattiva o dopanti o altri consumabili

• Elevata affidabilità e stabilità

• Nessuna parte in movimento

• Bassa Manutenzione

• Costruito con acciaio inox installabile in clean room

Specifiche

Measurement object Ambient trace ammonia gas in clean rooms Measurement principle CRDS (Cavity Ring Down Spectroscopy) Range 0 to 500 ppb Zero noise 0.06 ppb or less (5 min. average mode over 24 hr. x σ) Lower detection limit 0.1 ppb or less (30 min. average mode over 24 hr. x 3σ) 0.2 ppb or less (5 min. average mode over 24 hr. x 3σ) Minimum interval Approx. 5 sec. Zero drift ±0.1 ppb/day (peak value of 50 min. average data) Zero return time 60 min. or less (Time to reach 0.2 ppb in 5 min. average mode after measuring sample gas of approx. 10 ppb) Coupling Outer diameter: 6.0 mm, shared-use: 6.35 mm, fluorocarbon polymer Outputs Analog (concentration value) Alarm (error, H level, HH level) Power supply 100 V AC±10 V, 50/60 Hz 700 V A (max. consump.) Sample gas conditions Flow rate: 0.4 to 10 L/min Temperature: 15 to 35°C

 

Scheda dettagliata del prodotto: