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AMC in Clean Room Semiconduttori NEW ORION 3100

  • Gas misurati:
    HCl, HF, NH3

Caratteristiche:

  • Real-time at sub-ppb measurements
  • CEAS principle of operations
  • Continuous, unattended operation in harsh or hazardous environments
  • No reagents, radioactive source, paper tape, absorbent tubes or other expensive consumables required for operation
  • Long-term stability and reliability
  • Solid-state electronics and no moving parts
  • Low maintenance for maximum uptime
  • Every monitor is shipped factory-calibrated with an applications performance specification.
  • CEAS analyzers for single/multiple trace gas compounds detection
  • Multipoint sampling from 4 to 64 channels
  • Programmable Alarm and Fault Relays with Individual Programmable Alarm Levels
  • Programmable Sample Point Sequencing with Individual Channel Purge and Analysis
  • Open Communication Protocol for easy integration to existing systems
  • No Data loss during power interruption or shutdown
  • Touch-screen display allows Graphic and Operator functions to be changed or updated easily
  • Connections ¼ “ OD
  • Piping : PFA, PVDF
  • Max length pipe line for each channel measured : 80 mt
  • Panel PC colour VGA touch screen which allow graphic and operator functions
  • Remote visualization and operation by Radmin Software or similar
  • Any carrier or special utilities
  • Output signal : Standard : RS232 , Ethernet  Optional : 4-20 mA, Modbus
  • Electrical supply : 115-230 Vac 50/60 Hz
  • Calibration verification by optional Calibration with Permeation generator
  • Sampling by Sample & Fast loop pump

Misurazioni ultra-sensibili in tempo reale delle tracce di, HCl, HF, NH3 nelle Clean Room.

Nel processo di litografia, la tecnica  “Deep Ultraviolet (DUV)” ha dimostrato di essere particolarmente sensibile alle contaminazioni di tipo molecolare.

L’evoluzione di una migliore DUV, per materiali e durata dei filtri, non ha diminuito la necessità del monitoraggio in tempo reale, imponendo la misurazione degli agenti inquinanti presenti nell’aria un fattore di importanza cruciale.

Il software ETG HMI (Human Machine Interface) permette in tempo reale la visualizzazione dei valori di NH3, HCl, HF oltre alla gestione del campionamento su diversi punti di prelievo. Questo software è stato scritto per gli impianti di semiconduttori che tentano di monitorare e controllare la contaminazione aerea nel processo di litografia DUV. Questo software ha la flessibilità per essere applicato a qualsiasi ambiente industriale, in cui è necessario il campionamento multipunto da uno o più analizzatori CEAS. Le caratteristiche includono un facile controllo interattivo degli allarmi, la registrazione dei dati, la visualizzazione dei trend e le funzioni di gestione dell’ analizzatore; è basato su un ambiente Windows.

Il monitoraggio in tempo reale della contaminazione aerea è diventata di fondamentale importanza per la lavorazione dei semiconduttori.

È indispensabile dunque il rilevamento rapido e il relativo allarme, il monitoraggio del livello di bassa concentrazione, il campionamento su vasta area, e la sensibilità di molti diversi tipi di gas.

I litografi DUV sono particolarmente interessati a monitoraggio dell’ ammoniaca, delle ammine, di NMP e acidi.

Sistemi di monitoraggio antecedenti si basano su metodi indiretti di analisi.

Questi includono gorgogliatori, cromatografia ionica, o chemiluminescenza. Questi metodi sono generalmente troppo lenti, troppo complessi da gestire, costosi e imprecisi.

ETG utilizza la tecnologia collaudata del CEAS per affrontare il problema del monitoraggio della contaminazione in aria al fine di individuare ammoniaca, HF, HCl, la Fluorescenza Pulsata per l’ SO2 e tecnologia GC-FID per rilevare composti sspeciali di VOC.

L’ORION 3100 per la rilevazione di tracce di ammoniaca, HCl, HF, in combinazione con uVOC-CAM offre uno degli strumenti più potenti sul mercato la contaminazione molecolare in aria nelle clean room.

3100 ORION è in grado di gesetire dati in uscita per un massimo di 4-6 analizzatori o sensori di gas, utilizzando EtherNet, RS232/RS485 Modbus o l’opzionale modulo analogico 4-20mA.

Ogni analizzatore dispone di un computer interno (sistema operativo Linux) in grado di memorizzare i dati praticamente infinita sul proprio disco rigido e inviare dati in tempo reale ad un data logger tramite il digitale (RS232) o uscite Ethernet. Inoltre, come per tutti gli analizzatori ETG, questo analizzatore può essere controllato a distanza tramite Internet.

Questa capacità consente all’utente di azionare l’analizzatore utilizzando un browser web praticamente ovunque accesso a Internet è disponibile. Questo permette l’accesso remoto a livello BIOS il controllo dello strumento e offre l’opportunità di ottenere dati e per la diagnosi del funzionamento dello strumento senza essere sul posto.


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