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AMC SISTEMA DI ANALISI PER LA CONTAMINAZIONE MOLECOLARE IN CLEAN ROOM

  • Gas misurati:
    HCl, HF, NH3

Il processo di litografia profonda denominata DUV ha dimostrato di essere particolarmente sensibile a molti tipi di contaminanti a livello molecolare. Ammoniaca, acidi e gas sono noti per creare problemi per tutta la clean room.

Lo sviluppo di  materiali più performanti e filtri a lunga durata non ha diminuito la necessità di monitorare in tempo reale la contaminazione ambientale rendendo di fatto la misurazione di inquinanti nell’aria di fondamentale importanza.

Il Nuovo sistema ORION 3100 trasportabile MS per l’ammoniaca, HCl, HF di rilevazione di tracce combinato con uVOC-CAM rappresenta uno degli strumenti più potenti sul mercato dei semiconduttori per la contaminazione molecolare per via aerea in camera bianca.

ORION 3100 è un sistema di monitoraggio multipunto  che in modo sequenziale analizza i vari punti di presa con uno o più analizzatori ad alta sensibilità e precisione la concentrazione.

ORION 3100 dispone di allarme e visualizzazione mediante un software che è stato sviluppato da molti anni di esperienza con sistemi simili.

ANALISI DI ACIDI E AMMINE IN CLEAN ROOM

Sensibilità migliorata

Lo strumento, basato sulla tecnologia CEAS, è estremamente semplice da usare, bassa manutenzione, e comprende tutti i componenti (pompa a vuoto interna, tastiera, mouse, monitor video) per avviare la registrazione dei dati in pochi minuti.

Capacità di rivelazione / di precisione (1-σ) è:

HCl 0,1 ppb

HF 0,1 ppb

NH3 <0,1 ppb


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